Новая разработка в сфере микроэлектроники от российских ученых

Ученые из Университета Лобачевского использовали новый метод синтезирования диоксида кремния для разработки катализаторов, используемых в микроэлектронике.

«Новый метод прямого синтеза диоксида кремния, разработанный учеными НИИ химии Университета Лобачевского, Института металлоорганической химии РАН им. Г.А. Разуваева и Российского химико-технологического университета (РХТУ) им. Д.И. Менделеева, позволяет создавать высокоэффективные катализаторы для синтеза ключевого компонента современной микроэлектроники – моносилана – предшественника полупроводникового "электронного" кремния», – говорится в пресс-релизе вуза из Нижнего Новгорода.

Индукционная потоковая левитация, которой удалось добиться посредством двухступенчатого нагрева, позволила получить пористые сорбенты на основе диоксида кремния.

Один из авторов исследования, заведующий лабораторией инженерной химии НИИ химии ННГУ им. Н.И. Лобачевского Андрей Воротынцев, отметил, что разработка позволяет создавать поток атомарного пара из объемного образца кремния, с последующей конденсацией и окислением в атмосфере кислорода, и образованием наночастиц. «На основе полученного диоксида кремния удалось получить катализаторы с высокой каталитической активностью в реакции диспропорционирования трихлорсилана, в результате которой образуется моносилан, а далее поли- и монокристаллический кремний – высокочистые и дорогостоящие компоненты современной микроэлектроники», – приводятся в пресс-релизе объяснения Воротынцева.

Наносферический и наноструктурированный кремнезем имеет производительность до 100 г/ч в непрерывном бесконтактном режиме, что существенно превосходит по эффективности другие существующие способы синтеза диоксида кремния. Новые кремнеземы можно будет эффективно применять в промышленных процессах.

Разработка проводилась на грант Российского научного фонда (РФН), при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования РФ в рамках научного проекта «Лаборатория ионных материалов», а также по программе стратегического академического лидерства «Приоритет 2030» ННГУ им. Н.И. Лобачевского.

Источник - ТАСС

Узнать больше о микроэлектронике

Другие работы ученых из Национального исследовательского Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского на ЭБС Znanium