Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Магистратура
Год издания
2015
Кол-во страниц
82
ISBN
978-5-87623-940-2
Артикул
753410.01.99
Аннотация
В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии - молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические - зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор. Предназначено для магистрантов, обучающихся по направлениям 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Библиографическая запись Скопировать запись
Курочка, С. П. Молекулярно-пучковая и МОС-гидридная технологии: методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций : учебное пособие / С. П. Курочка, А. А. Сергиенко. - Москва : Изд. Дом МИСиС, 2015. - 82 с. - ISBN 978-5-87623-940-2. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1239468 (дата обращения: 28.02.2021). – Режим доступа: по подписке.