Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Материалы и элементы электронной техники : расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Материалы и элементы электронной техники : расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2007
Кол-во страниц
16
Артикул
751169.01.99
Аннотация
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001. Соответствует программе курса «Материалы и элементы электронной техники». Предназначен для студентов, обучающихся по специальностям 150601 «Материаловедение и технология новых материалов» и 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Библиографическая запись Скопировать запись
Полисан, А. А. Материалы и элементы электронной техники : расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев : практикум / А. А. Полисан, В. П. Астахов. - Москва : ИД МИСиС, 2007. - 16 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1223599 (дата обращения: 24.11.2020). – Режим доступа: по подписке.