Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II

Доступ онлайн
115 Р
В корзину

Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II

Нет доступа
Основная коллекция
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: Профессиональное образование
Год издания
2014
Кол-во страниц
227
ISBN
978-5-7782-2534-3
Артикул
631710.01.99
Аннотация
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Библиографическая запись Скопировать запись
Величко, А. А. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II/ВеличкоА.А., ФилимоноваН.И. - Новосибирск : НГТУ, 2014. - 227 с.: ISBN 978-5-7782-2534-3. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546528 (дата обращения: 30.10.2020). – Режим доступа: по подписке.