Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Доступ по подписке только в составе
Коллекции
Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах
Издательство:
Сибирское отделение РАН
Вид издания: Монография
Уровень образования: ВО - Магистратура
Авторы:
,
|
Год издания
2011
|
|
Кол-во страниц
158
|
|
ISBN
978-5-7692-1183-6
|
|
Артикул
668987.01.99
|
Аннотация
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в
кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные
диэлектрики Al2O3, HfO2, Ta2O5, ZrO2, TiO2, твердые растворы (HfO2)x(Al2O3)1 - x. Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO2, оксинитрида SiOxNy и нитрида Si3N4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой
твердого тела и микроэлектроникой.
Библиографическая запись
Скопировать запись
Гриценко, В. А. Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах: Монография / Гриценко В.А., Асеев А.Л. - Новосибирск :СО РАН, 2011. - 158 с. ISBN 978-5-7692-1183-6. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/924886 (дата обращения: 25.02.2021). – Режим доступа: по подписке.
Классификаторы
Коллекции