Основы технологии материалов микроэлектроники
Доступ онлайн
В корзину
Основы технологии материалов микроэлектроники
Издательство:
Новосибирский государственный технический университет
Вид издания: Учебно-методическая литература
Уровень образования: Профессиональное образование
Авторы:
Год издания
2010
|
Кол-во страниц
96
|
ISBN
978-5-7782-1420-0
|
Артикул
631555.01.99
|
Аннотация
В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ.
Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника, 210108 - «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Скопировать запись
Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники/КаменскаяА.В. - Новосибирск : НГТУ, 2010. - 96 с.: ISBN 978-5-7782-1420-0. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546218 (дата обращения: 04.03.2021). – Режим доступа: по подписке.
Классификаторы
Аффилиация авторов
Коллекции