Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Основы технологии материалов микроэлектроники

Доступ онлайн
48 Р
В корзину

Основы технологии материалов микроэлектроники

Нет доступа
Основная коллекция
Вид издания: Учебно-методическая литература
Уровень образования: Профессиональное образование
Год издания
2010
Кол-во страниц
96
ISBN
978-5-7782-1420-0
Артикул
631555.01.99
Аннотация
В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника, 210108 - «Микросистемная техника».
Библиографическая запись Скопировать запись
Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники/КаменскаяА.В. - Новосибирск : НГТУ, 2010. - 96 с.: ISBN 978-5-7782-1420-0. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546218 (дата обращения: 03.07.2020). – Режим доступа: по подписке.