В пособии кратко изложены основные представления о технологи-ческих методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направ-лений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 - «Нано-технология» специальностей: 210104 - «Микроэлектроника и твердо-тельная электроника, 210108 - «Микросистемная техника».

Каменская, А. В. Основы технологии материалов микроэлектроники/КаменскаяА.В. - Новосибирск : НГТУ, 2010. - 96 с.: ISBN 978-5-7782-1420-0. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546218 (дата обращения: 04.03.2021). – Режим доступа: по подписке.

• 170704: Микроэлектроника. Наноэлектроника

• 3285: Электроника

• 621: Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

• 11.04.04: Электроника и наноэлектроника
• 11.03.04: Электроника и наноэлектроника

Каменская Анна Викторовна

Новосибирский государственный технический университет

• Основная коллекция ЭБС