Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебно-методическая литература
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2005
Кол-во страниц
56
Артикул
753406.01.99
Аннотация
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердого тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируются области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов. По всем рассматриваемым темам приводятся примеры практических расчетов и графические зависимости параметров взаимодействия ионов с полупроводниковыми и металлическими материалами. Пособие соответствует программе курса «Основы высоких технологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 654100 (550700) и специальности 210104 (200100), при выполнении домашних заданий и решении задач на практических занятиях.
Библиографическая запись Скопировать запись
Кузнецов, Г. Д. Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом : учебно-методическое пособие / Г. Д. Кузнецов. - Москва : ИД МИСиС, 2005. - 56 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1239460 (дата обращения: 06.03.2021). – Режим доступа: по подписке.