В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердого тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируются области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов. По всем рассматриваемым темам приводятся примеры практических расчетов и графические зависимости параметров взаимодействия ионов с полупроводниковыми и металлическими материалами. Пособие соответствует программе курса «Основы высоких технологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 654100 (550700) и специальности 210104 (200100), при выполнении домашних заданий и решении задач на практических занятиях.

Кузнецов, Г. Д. Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом : учебно-методическое пособие / Г. Д. Кузнецов. - Москва : ИД МИСиС, 2005. - 56 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1239460 (дата обращения: 06.03.2021). – Режим доступа: по подписке.

• 170706: Полупроводниковая электроника

• 312: Электроэнергетика. Электротехника

• 621: Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

• 11.03.01: Радиотехника
• 11.03.04: Электроника и наноэлектроника
• 12.03.01: Приборостроение

• 45.09: Электротехнические материалы

Кузнецов Геннадий Дмитриевич

Национальный Исследовательский Технологический Университет "МИСИС"