Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2008
Кол-во страниц
191
Артикул
753379.01.99
Аннотация
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы»
Библиографическая запись Скопировать запись
Кузнецов, Г. Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова. - Москва : Изд. Дом МИСиС, 2008. - 191 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1239214 (дата обращения: 28.02.2021). – Режим доступа: по подписке.