В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра - Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы»

Кузнецов, Г. Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, С. Б. Симакин, Д. Н. Демченкова. - Москва : Изд. Дом МИСиС, 2008. - 191 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1239214 (дата обращения: 28.02.2021). – Режим доступа: по подписке.

• 170704: Микроэлектроника. Наноэлектроника

• 223: Физика

• 530: Основные теории (принципы) физики
• 539: Строение материи
• 621: Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

• 28.04.03: Наноматериалы
• 11.04.04: Электроника и наноэлектроника
• 28.04.01: Нанотехнологии и микросистемная техника
• 28.03.03: Наноматериалы
• 11.03.04: Электроника и наноэлектроника
• 28.03.01: Нанотехнологии и микросистемная техника

• 81.13.30: Нанотехнология
• 47.33: Твердотельные приборы
• 29.19.31: Полупроводники

Кузнецов Геннадий Дмитриевич	Национальный Исследовательский Технологический Университет "МИСИС"
Демченкова Дарья Николаевна	Национальный Исследовательский Технологический Университет "МИСИС"