Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебно-методическая литература
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2015
Кол-во страниц
88
Артикул
752310.01.99
Аннотация
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Библиографическая запись Скопировать запись
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О. И. Рабинович, Д. Г. Крутогин, С. В. Подгорная, С. Ф. Маренкин. - Москва : Изд. Дом МИСиС, 2015. - 88 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1228235 (дата обращения: 09.03.2021). – Режим доступа: по подписке.