Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2008
Кол-во страниц
156
Артикул
751824.01.99
Аннотация
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия - формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы»
Библиографическая запись Скопировать запись
Кузнецов, Г. Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Г. Д. Кузнецов, А. Р. Кушхов, Б. А. Билалов. - Москва : Изд. Дом МИСиС, 2008. - 156 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1226605 (дата обращения: 11.05.2021). – Режим доступа: по подписке.