Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2007
Кол-во страниц
141
Артикул
751823.01.99
Аннотация
Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника»
Библиографическая запись Скопировать запись
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : лабораторный практикум / Г. Д. Кузнецов, С. П. Курочка, А. Р. Кушхов [и др.]. - Москва : ИД МИСиС, 2007. - 141 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1226603 (дата обращения: 28.02.2021). – Режим доступа: по подписке.