Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Выращивание кристаллов : выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления

Доступ онлайн
2 000 Р
В корзину

Выращивание кристаллов : выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления

Нет доступа
Новинка
Издательство: ИД МИСиС
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Магистратура
Год издания
2017
Кол-во страниц
54
Артикул
751102.01.99
Аннотация
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума - приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».
Библиографическая запись Скопировать запись
Выращивание кристаллов : выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления : лабораторный практикум / Ю. Н. Пархоменко, В. В. Антипов, Р. А. Жуков [и др.]. - Москва : Изд. Дом НИТУ «МИСиС», 2017. - 54 с. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1223188 (дата обращения: 24.11.2020). – Режим доступа: по подписке.