Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. в 2 ч. Ч. 1

Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Доступ онлайн
66 Р
В корзину

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. в 2 ч. Ч. 1

Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Покупка
Издательство: Лаборатория знаний
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2020
Кол-во страниц
400
ISBN
978-5-00101-814-8
Артикул
630006.02.99
Аннотация
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Библиографическая запись Скопировать запись
Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем : в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование : учебное пособие / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева ; под общ. ред. Ю. А. Чаплыгина. - 4-е изд. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 с. - ISBN 978-5-00101-814-8. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1201961 (дата обращения: 19.10.2021). – Режим доступа: по подписке.
Текстовые фрагменты публикации