Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Аннотация
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Библиографическая запись Скопировать запись
Технологии субмикронных структур микроэлектроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. акад. А. П. Достанко. - Минск : Беларуская навука. 2018. - 271 с. - ISBN 978-985-08-2298-7. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1067916 (дата обращения: 09.08.2020). – Режим доступа: по подписке.
Аффилиация авторов
Достанко Анатолий Павлович
Бордусов Сергей Валентинович
Голосов Дмитрий Анатольевич
Завадский Сергей Михайлович
Колос Владимир Владимирович
Купо Александр Николаевич
Ланин Владимир Леонидович
Лушакова Мария Сергеевна
Мадвейко Сергей Игоревич
Мельников Сергей Николаевич
Петлицкий Александр Николаевич
Петухов Игорь Борисович
Телеш Евгений Владимирович