Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Доступ онлайн
435 Р
В корзину
Аннотация
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Библиографическая запись Скопировать запись
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники : монография / А.П. Достанко [и др.]. - Минск : Беларуская навука, 2016. - 252 с. - ISBN 978-985-08-1993-2. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1066905 (дата обращения: 14.08.2020). – Режим доступа: по подписке.
Аффилиация авторов
Достанко Анатолий Павлович
Аваков Сергей Мирзоевич
Агиев Олег Александрович
Батура Михаил Павлович
Бордусов Сергей Валентинович
Голосов Дмитрий Анатольевич
Джуплин Владимир Николаевич
Завадский Сергей Михайлович
Ланин Владимир Леонидович
Мельников Сергей Николаевич
Чередниченко Дмитрий Иванович
Мадвейко Сергей Игоревич
Петухов Игорь Борисович
Русецкий Анатолий Максимович
Титко Дмитрий Сергеевич
Томаль В. С.
Трапашко Георгий Алексеевич
Школык С. Б.