Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Родионов, Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учеб. пособие / Ю.А. Родионов. - Москва ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1053392 (дата обращения: 02.03.2021). – Режим доступа: по подписке.

• 170704: Микроэлектроника. Наноэлектроника

• 3285: Электроника

• 621: Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

• 11.03.01: Радиотехника
• 11.03.02: Инфокоммуникационные технологии и системы связи
• 11.03.03: Конструирование и технология электронных средств
• 11.03.04: Электроника и наноэлектроника

• 47.33: Твердотельные приборы

Родионов Юрий Анатольевич

Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

• Основная коллекция ЭБС