Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Доступ по подписке только в составе Коллекции

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Нет доступа
Основная коллекция
Издательство: Инфра-Инженерия
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2019
Кол-во страниц
352
ISBN
978-5-9729-0337-5
Артикул
721962.01.99
Аннотация
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись Скопировать запись
Родионов, Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учеб. пособие / Ю.А. Родионов. - Москва ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1053392 (дата обращения: 09.08.2020). – Режим доступа: по подписке.