Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Доступ по подписке только в составе
Коллекции
Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Издательство:
Инфра-Инженерия
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Авторы:
Год издания
2019
|
Кол-во страниц
352
|
ISBN
978-5-9729-0337-5
|
Артикул
721962.01.99
|
Аннотация
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись
Скопировать запись
Родионов, Ю.А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учеб. пособие / Ю.А. Родионов. - Москва ; Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. - 352 с. - ISBN 978-5-9729-0337-5. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1053392 (дата обращения: 02.03.2021). – Режим доступа: по подписке.
Классификаторы
Аффилиация авторов
Коллекции