Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Доступ онлайн
125 Р
В корзину

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Нет доступа
Основная коллекция
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Магистратура
Год издания
2017
Кол-во страниц
104
ISBN
978-5-9275-2395-5
Артикул
708258.01.99
Аннотация
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись Скопировать запись
Светличный, А. М.Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / А. М. Светличный. И. Л. Житяев ; Южный федеральный университет. - Ростов-на-Дону ; Таганрог : Издательство Южного федерального университета. 2017. - 104 с. - ISBN 978-5-9275-2395-5. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/1020493 (дата обращения: 30.09.2020). – Режим доступа: по подписке.