Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок

Доступ онлайн
от 49 Р
В корзину

Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок

Нет доступа
Основная коллекция
Вид издания: Статья
Уровень образования: Аспирантура
Год издания
2012
Кол-во страниц
5
Артикул
489809.0015.99.0004
Библиографическая запись Скопировать запись
Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок / Е. Зайцева, Р. М. Закирова, П. Н. Крылов [и др.]. - Текст : электронный // Вестник Удмуртского университета. Серия 4. Физика и химия. - 2012. - №2. - С. 26-30. - URL: https://znanium.com/catalog/product/516827 (дата обращения: 13.05.2021). – Режим доступа: по подписке.