Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Доступ онлайн
66 Р
В корзину

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование

Нет доступа
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: Аспирантура
Год издания
2015
Кол-во страниц
400
ISBN
978-5-9963-2904-5
Артикул
630006.01.99
Аннотация
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Библиографическая запись Скопировать запись
Королев, М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование: Учебное пособие / Королев М.А., - 3-е изд., (эл.) - Москва :БИНОМ. Лаб. знаний, 2015. - 400 с.: ISBN 978-5-9963-2904-5. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/539566 (дата обращения: 15.07.2020). – Режим доступа: по подписке.