Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

К покупке доступен более свежий выпуск Перейти
Бумажная книга
930 Р
Купить

Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники

Нет доступа
Основная коллекция
Издательство: РИОР
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: ВО - Бакалавриат
Год издания
2014
Кол-во страниц
240
ISBN
978-5-369-01299-4
ISBN-онлайн
978-5-16-100019-9
Артикул
453950.01.01
Аннотация
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Библиографическая запись Скопировать запись
Гаврилов, А. С. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники: Учебное пособие / Гаврилов А.С., Белов А.Н., - 2-е изд. - Москва :ИЦ РИОР, НИЦ ИНФРА-М, 2014. - 240 с. (Высшее образование: Бакалавриат)ISBN 978-5-369-01299-4. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/431359 (дата обращения: 22.10.2020). – Режим доступа: по подписке.