Данная публикация изъята из фонда.
Перейти к актуальной версии.
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Покупка
Основная коллекция
Тематика:
Микроэлектроника. Наноэлектроника
Издательство:
РИОР
Год издания: 2014
Кол-во страниц: 240
Дополнительно
Вид издания:
Учебное пособие
Уровень образования:
ВО - Бакалавриат
ISBN: 978-5-369-01299-4
ISBN-онлайн: 978-5-16-100019-9
Артикул: 453950.01.01
К покупке доступен более свежий выпуск
Перейти
Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время.
В пособии приведены краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, рассмотрены механизмы формирования твердотельных микро- и наноструктур, особенности получения и применения пористого кремния, описаны электрохимические процессы в технологии МЭМС, процессы формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применение в микро- и нанотехнологии, процессы анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применение в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии.
Предназначено для студентов, аспирантов, научных работников и инженеров.
Тематика:
ББК:
УДК:
ГРНТИ:
Скопировать запись
Фрагмент текстового слоя документа размещен для индексирующих роботов.
Для полноценной работы с документом, пожалуйста, перейдите в
ридер.
К покупке доступен более свежий выпуск
Перейти