Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направ- лению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования.

Беркин, А. Б. Физические основы вакуумной техники/БеркинА.Б., ВасилевскийА.И. - Новосибирск : НГТУ, 2014. - 84 с.: ISBN 978-5-7782-2424-7. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546221 (дата обращения: 24.01.2021). – Режим доступа: по подписке.

• 161008: Электроэнергетика. Электротехника

• 312: Электроэнергетика. Электротехника

• 621: Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

• 13.04.02: Электроэнергетика и электротехника
• 13.03.02: Электроэнергетика и электротехника

• Основная коллекция ЭБС