Размер шрифта:
А
А
А
|  Шрифт:
Arial
Times
|  Интервал:
Стандартный
Средний
Большой
|  Цвет сайта:
Ц
Ц
Ц
Ц
Ц

Физические основы вакуумной техники

Доступ онлайн
42 Р
В корзину

Физические основы вакуумной техники

Нет доступа
Основная коллекция
Вид издания: Учебное пособие
Уровень образования: Профессиональное образование
Год издания
2014
Кол-во страниц
84
ISBN
978-5-7782-2424-7
Артикул
631557.01.99
Аннотация
Рассмотрены физические основы работы наиболее распростра- ненных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давле- ния и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практиче- ских навыков работы с оборудованием предлагаются соответствую- щие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направ- лению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатаци- ей вакуумного технологического оборудования.
Библиографическая запись Скопировать запись
Беркин, А. Б. Физические основы вакуумной техники/БеркинА.Б., ВасилевскийА.И. - Новосибирск : НГТУ, 2014. - 84 с.: ISBN 978-5-7782-2424-7. - Текст : электронный. - URL: https://znanium.com/catalog/product/546221 (дата обращения: 24.01.2021). – Режим доступа: по подписке.